第202章 从芯开始42

  光源问题困扰整个产业十多年。

  甚至以英特尔、IBM为首的美国企业成立了EUV LLC联盟, 试图通过研究极紫外光,越过193nm这一关。

  尼康则是坚持循序渐进,专注于研究157nm的F2激光, 稳健发展。

  只不过研究了这么些年,都没进展。

  没人知道前景在何处。

  当初弗兰克给秦蓁画的也不过是一张大饼而已,甚至希望借助于秦蓁的能力,看能否在极紫外光的研究上有所突破。

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第202章 从芯开始42

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